洁净室综合性能检测
洁净室空气净化设备的安装,应符合下列规定: □ 带有通风机的气闸室、吹淋室与地面间应有隔振垫; □ 机械式余压阀的安装,阀体、阀板的转轴均应水平,允许偏差为2/1000。余压阀的安装位置应在室内气流的下风侧,并不应在工作面高度范围内; □ 传递窗的安装,应牢固、垂直,与墙体的连接处应密封。检查数量:按总数抽查20%,不得少于1件。检查方法:尺量、观察检查。本条文对净化空调系统洁净设备安装的验收质量作出了规定。带有通风机的气闸室、吹淋室的振动会对洁净室的环境带来不利影响,因此,要求垫隔振垫。条文对机械式余压阀、传递窗安装质量的验收,强调的是水平度和密封性。
装配式洁净室的安装应符合下列规定: □ 洁净室的顶板和壁板(包括夹芯材料)应为不燃材料; □ 洁净室的地面应干燥、平整,平整度允许偏差为1/1000; □ 壁板的构配件和辅助材料的开箱,应在清洁的室内进行,安装前应严格检查其规格和质量。壁板应垂直安装,底部宜采用圆弧或钝角交接;安装后的壁板之间、壁板与顶板间的拼缝,应平整严密,墙板的垂直允许偏差为2/1000,顶板水平度的允许偏差与每个单间的几何尺寸的允许偏差均为2/1000; □ 洁净室吊顶在受荷载后应保持平直,压条全部紧贴。洁净室壁板若为上、下槽形板时,其接头应平整、严密;组装完毕的洁净室所有拼接缝,包括与建筑的接缝,均应采取密封措施,做到不脱落,密封良好。检查数量:按总数抽查20%,不得少于5处。检查方法:尺量、观察检查及检查施工记录。为保障装配室洁净室的安全使用,故规定其顶板和壁板为不燃材料。洁净室干燥、平整的地面,才能满足其表面涂料与铺贴材料施工质量的需要。为控制洁净室的拼装质量,条文还对壁板、墙板安装的垂直度、顶板的水平度以及每个单间几何尺寸的允许偏差作出了规定。对装配式洁净室的吊顶、壁板的接口等,强调接缝整齐、严密,并在承重后保持平整。装配式洁净室接缝的密封措施和操作质量,将直接影响洁净室的洁净等级和压差控制目标的实现,故需特别引起重视。
洁净层流罩的安装应符合下列规定: □ 应设独立的吊杆,并有防晃动的固定措施; □ 层流罩安装的水平度允许偏差为1/1000,高度的允许偏差为±1mm; □ 层流罩安装在吊顶上,其四周与顶板之间应设有密封及隔振措施。检查数量:按总数抽查20%,且不得少于5件。检查方法:尺量、观察检查及检查施工记录。风机过滤器单元(FFU、FMU)的安装应符合下列规定: □ 风机过滤器单元的高效过滤器安装前应按本规范第7.2.5条的规定检漏,合格后进行安装,方向必须正确;安装后的FFU或FMU机组应便于检修; □ 安装后的FFU风机过滤器单元,应保持整体平整,与吊顶衔接良好。风机箱与过滤器之间的连接,过滤器单元与吊顶框架间应有可靠的密封措施。检查数量:按总数抽查20%,且不得少于2个。检查方法:尺量、观察检查及检查施工记录。高效过滤器的安装应符合下列规定: □ 高效过滤器采用机械密封时,须采用密封垫料,其厚度为6~8mm,并定位贴在过滤器边框上,安装后热料的压缩应均匀,压缩率为25%~50%; □ 采用液槽密封时,槽架安装应水平,不得有渗漏现象,槽内无污物和水分,槽内密封液高度宜为2/3槽深。密封液的熔点宜高于50℃检查数量:按总数抽查20%,且不得少于5个。检查方法:尺量、观察检查。高效过滤器采用机械密封时,密封垫料的厚度及安装的接缝处理非常重要,厚度应按条文的规定执行,接缝不应为直接连接。当高效过滤器采用液槽密封时,密封液深度以2/3槽深为宜,过少会使插入端口处不易密封,过多会造成密封液外溢。
空气过滤器的安装应符合下列规定: □ 安装平整、牢固,方向正确。过滤器与框架、框架与围护结构之间应严密无穿透缝; □ 框架式或粗效、中效袋式空气过滤器的安装,过滤器四周与框架应均匀压紧,无可见缝隙,并应便于拆卸和更换滤料; □ 卷绕式过滤器的安装,框架应平整、展开的滤料,应松紧适度、上下筒体应平行。检查数量:按总数抽查10%,且不得少于1台。检查方法:观察检查。空气过滤器与框架、框架与围护结构之间堵封的不严,会影响过滤器的滤尘效果,所以要求安装时无穿透的缝隙。卷饶式过滤器的安装,应平整,上下筒体应平行,以达到滤料的松紧一致,使用时不发生跑料。
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